半导体清洗超纯水设备水质标准:半导体芯片清洗超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美*半导体工业用纯水指标、*本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
半导体清洗超纯水设备制备工艺:
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥16MΩ.CM)(*新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(*新工艺)
电子行业超纯水设备适用于集成电路芯片、单晶硅、显像管、液晶显示器、计算机硬盘、线路板等工艺所需的纯水和超纯水制备。在严格执行ISO-9001国际质量体系标准的前提下,采用世界上进的反渗透膜元件。压力容器和高压泵、配以合理而又高效的前处理设备及后处理设备,使产品出水符合各类电子行业生产标准的超纯水。控制系统选用PLC程序控制,可实现自动起停、加药及冲洗,自动监测各种运行参数,并可实现运行参数的储存及打印广泛适用于: 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路 LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管 超纯材料和超纯化学试剂光导纤维、光盘等。
苏州伟志水处理有限责任公司擅长水处理设备的研发、设计、安装与销售。在水处理设备设计的范畴,本公司会聚时代精英人物,涉及食品、电子、医药、化工、工业、社区用水各个行业。设计包括纯水设备、超纯水设备、中水回用设备、离子交换设备、软化设备、海水淡化设备等原水、污水处理设备。
我们的水处理设备工程师在专业水处理行业拥有十数年的丰厚经历,在国内外为各个企业专业设计、安装、调试大、中、小型水处理工程及设备,他们的出色表现给各企业留下了深刻的印象。