特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达国家水平相近。
气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达国家水平相近。随着国产化的推进,部分种类的电子特种气体慢慢形成规模效应,占据市场半壁江山。一些常规的特气产品,中国的产能甚至可以满足全球范围内的需要,但需清醒的看到,从核心竞争力,质量管理,品牌效应方面来说,我们仍然处于低水平区间。
特种气体的储存注意事项:储存高压气体≥300m,液化气≥3000kgs时,储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处,需设有安全警示牌。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤,其中气体的纯化、混配等是气体公司的核心竞争力。特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,随着工业、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展,特种气体成为工业气体市场规模增长新动力,广泛应用于半导体、LED、光纤光缆等新兴行业。
特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2,减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4;特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于(绷带、缝线及手术器具)、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。