实验室气体的危险性：
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；
2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；
4、多数气瓶出口压力可达15MPa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。
气体减压阀是气动调节阀的必备配件
高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置，它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多，按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。
气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件，主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值，以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制，因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。
气体减压阀的阀杆，阀瓣，涡轮，手轮，螺母，支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘，油污以及脏物等，对阀门会产生磨损和腐蚀，因此一定要保证阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。
阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫，螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫，甚至用铜丝刷刷洗，知道加工面，配合面显出金属光泽，油漆面显出油漆本身为止。1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成。塑料蝶阀应该要有人专门负责，每班都要检查一次，定期打开冲洗阀进行冲洗，或定期拆卸冲洗，以免脏物堵塞阀门。
1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。
2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。
特气管道工程
特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2、所有的管路、阀门，压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其纯度一般在99.99%（4N）以上。
特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户工程师的陪同下进行，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置，一旦有气体泄露，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
