氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，利用了氦气的流动性和质量大于氮气、氧气等气体这一特性。该系统的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比关系，对于压力范围0.5~8大气压，在很小的泄露量下就能探测出来（小于1Pa·m³/s）。此外还配备了真空泵对测试工件进行抽空处理，将工作空间的工作压力降低到规定的要求参数值内；电器控制系统负责整个试验过程的操作和调节控制；而示差式电路不但能根据被测样品放出的低频成分来校正测量结果而且还能使仪表具有自动反吸功能。
真空箱氦检漏系统介绍
真空箱氦检漏系统是一种用于检测真空容器内氦气泄漏的设备。它通过将氦气充入真空容器内，然后抽出样品中的氦气，根据氦气的浓度来判断容器是否存在泄漏。一般情况下，氦气浓度越低，说明容器的泄漏率越低。该系统通常由真空箱、氦气发生器、氦气检测器和数据采集系统等组成。其中，真空箱用于抽取和储存氦气，氦气发生器用于产生高浓度的氦气，氦气检测器用于检测氦气的浓度，而数据采集系统则用于采集和记录检测数据。真空箱氦检漏系统广泛应用于航空航天、电子、半导体、等领域，可以用于检测容器内的氦气泄漏，保证产品的质量和安全性。
氦质谱检漏系统操作原理
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的气体检测仪器，主要用于探测微量的泄漏物质。其工作原理是利用高压电离室产生的高压离子束轰击惰性气体（如He）分子，使它们解离并释放出正、负粒子或电子，形成原子簇模型——由大量的单核和双核对许多具有一定能量的自由玻尔态的束缚粒子和游离电子组成的微观体系结构；这些带有一定能量的状态在一定的空间范围内存在着库仑场分布不均匀而受到激发时就会发射特征X射线作为示踪信号源来检查工件上的气密性和确定缺陷的位置及大小。