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长春空气净化_辽宁乐金建设公司_可老好了_大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超
电机功率计算散热量。 净化工程设计要点您了解多少? 1.应使用可靠性高的运行设施净化车间建筑设计,应确保建筑设备的安全运行,当一旦出现事故后,确保人员、财产安全。主体结构应具备同净化车间内的工艺装备水平,建筑处理和装饰水平相适应的等级水平,洁净厂房的耐久性、耐火能力,装修应与装备水平相互协调,使投资长期长挥作
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