在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。
隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级,因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
泵系列
Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。
RV3
RV3 PFPE
RV5
RV5 PFPE
RV8
RV8 PFPE
RV12
RV12 PFPE
真空泵维修是门的技术，不是换换轴承、换换油封那么简单，客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修，很有可能导致真空泵提前报废，从而给您的生产带来损失。
要了解爱德华真空泵维修服务，首先先了解爱德华真空泵的知识爱德华真空泵是我国分析实验室中常见的真空泵之一 ,一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统 ,广泛应用于生物、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。
iXL 干式真空泵机组
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。
经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。
一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统, 广泛应用于生物、医学、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。
在排除以上两个因素后, 引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面: 泵油污染, 需要换油; 泵内油过滤器堵塞, 引起压缩注油系统油路不畅, 供油不足, 导致泵体密封不严, 这时需要清洗内部油过滤器; 配油器阀门变形, 磨损或损坏, 也可导致供油不足, 这时应检查更换配油器阀门;
