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2023-12-22 20:50  浏览:55
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显影工艺是怎样?

前工站加工的玻璃进入显影设备,对需要去除的油墨进行化学反应,进行剥离,然后进行表面清洗,形成高精度的油墨3D盖板。显影操作需控制好显影液的温度、传送速度、喷淋压力等参数。

曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,曝光质量取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、曝光时间、菲林胶片质量等因素。

曝光:使用紫外线曝光机将掩膜上的图案投射到光刻胶上。显影:使用显影液将未曝光的光刻胶清除掉,将芯片图案暴露出来将显影液涂覆在曝光后的晶圆表面上,正胶的曝光区域和负胶的非曝光区域溶于显影液中,进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后,就可以显现出光刻胶中的图形,曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,

将显影液涂覆在曝光后的晶圆表面上,正胶的曝光区域和负胶的非曝光区域溶于显影液中,进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后,就可以显现出光刻胶中的图形,曝光一般在曝光机内进行,曝光不足,导致单体聚合不,那么在显影过程中,会使的胶膜变软,线条不清晰,色泽暗淡,脱胶。曝光过度,会造成难显影,留有残胶。同时曝光影响图案的线宽,过量曝光会使图形线条变细,蚀刻产品线条变粗。为了让显影液与光刻胶进行充分反应

曝光时菲林胶片黑色部分的钢片不被感光,对于空白的蚀刻钢片感光,蚀刻钢片上的感光油墨不被显影液所融化,曝光不足,导致单体聚合不,那么在显影过程中,会使的胶膜变软,线条不清晰,色泽暗淡,脱胶。曝光过度这些步骤相互整合,完成硅片的制造。在不同的制造要求下,整个曝光显影工艺过程的条件和具体流程可能会有所不同。

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