广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮分子泵维护
岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
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岛津TMP-4304LMC 的HZ:50/60VA:2.1KV:~200-240
岛津TMP-4304LMC高速泵保养，Shimadzu TMP-4304LMC分子泵进气法兰口VG350，出气法兰口KF40，抽速可达到4400 L/s，转速为24000 rpm
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目前SHIMADZU岛津制作所提供的产品众多，包括分析和测量仪器，yi疗系统和设备，飞机设备，工业设备，岛津齿轮泵，在广泛的领域，以及细致的响应服务
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