准分子气体的运输车上发生火灾时。灭火困难时，要通知消防队等是“有毒气体 、“可燃气体”，并请求援助。选择气体的注意事项：通过气体将设备从切割区吹掉熔渣，清洁一些切缝；可以冷却切缝邻近区域，减小由于热影响区的尺寸的因素发生；准分子气体如何正确保存?放置准分子气体的地方还不能有暖气和锅炉以及火源等热源设备，以便因为高温而引起爆等重大的意外事故。
液态气体为淡蓝色液体。密度约0.9。沸点－192℃（101.3千帕，760毫米柱）。可用钢筒贮存和运输。广泛用作氧气的来源。将空气压缩，并冷却至低温，再使之膨胀而得。作用在准分子激光设备上激发激光的预混气体主要是氟气和氩气，以氖气为平衡气。采用别纯度的原料气体，采用自动化气体预混系统配制，有效降低人为因素影响。
准分子激光气注意事项：应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。准分子激光气注意事项：瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，准分子激光属于冷激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，寿命为几十毫微秒，属于紫外光。
