5分钟前 台州pvd真空镀膜炉欢迎来电「金百辰」[金百辰050f8dc]内容：

真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制ZrN膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源，以及脉冲偏压电源。

(1)抽真空

5 X 10-3～6.6 x 10-13Pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100～150℃。

(2)轰击清洗

真空度：通人气真空度保持在2～3Pa。轰击电压：800～1000V，脉冲占空比20%。轰击时间：10min。

(3)手套箱

①沉积锆底层

真空度：通入气，真空度保持在s x l0-1Pa。靶电压：400—550V，靶功率15 N 30W/Crrr2。脉冲偏压：450～500V，占空比20 %。手套箱时间：5～10min。

②镀ZrN膜

真空度：通入氮气，真空度保持在(3～5) x 10-1Pa。靶电压：400～550V，靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压：150～200V，占空比80 %。手套箱时间：20～30min。

由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低，不容易进行反应沉积，获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化，扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源，柱状弧源还是辅助手套箱源。

PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术。其工作原理就是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，特别具有膜层附着力强、绕性好、可镀材料广泛等优点。 采用先进的磁控溅射离子镀膜和多弧离子镀膜工艺设备，及在此基础之上与国际的工艺创新。凭借在装饰镀行业十多年的宝贵经验，为客户提供适合的涂层加工方案。

真空镀膜加工时为什么会出现产品掉膜的现象呢？今天英利悦电子的小编就累为您解释下，真空镀膜掉膜的原因。

真空电镀加工时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手，可以考虑从以下几个方面排除：

1、表面清洁度

产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时气放大、时间长点。

2、清洗过程中的问题

镀前清洗不到位，或更换了清洗液。

3、工艺的问题

工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。

4、靶材的问题

钛靶是否，检查和更换。

5、真空腔是否漏气

进行一次捡漏。

6、产品表面氧化

氧化的原因很多，可以自行判断处理。

PVD:物理气相沉积:指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。 PVD基本方法:真空蒸发、溅射 、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)。