在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。
隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级,因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
泵系列
Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。
RV3
RV3 PFPE
RV5
RV5 PFPE
RV8
RV8 PFPE
RV12
RV12 PFPE
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。
应用：真空冶金加工，薄膜覆层技术，制药冷冻干燥,冷冻和空调系统抽空、干燥和回填；真空泵维修作为真空泵设备提升泵浦性能的重要的一种修复工序，其中零件之间的修复配合装配尤为关键
