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分子泵的原理由是利用气体分子和高速运动的转子互相碰撞而将气体分子带出系統外。气体分子碰撞到转子的表面反弹后，将会在其原來的热分子速度之外获得一部分与转子表面运动方向平行的额外速度。为了避免分子间的干扰而使运动速度下降，平均自由程的距离必须大于叶片之间的距离。因此，谱拓（）认为就需要一个前级泵连接在分子泵的上游以确保分子泵内粒子密度足够的小。
inficon真空涡轮分子泵出色的表现是因为：
■气体压缩高，气流量大
■前级压力高
■整体式驱动单元和冷却系统
■高抽速：10-2,000l/s
隔膜泵由传动部分和隔膜缸头两大部分组成。通过进气阀把气体引入腔室然后传递到出气阀排出气体。
在此应用条件下，泵的 很终压力可达70hPa，抽速 很高可接近10m³/h。
inficon真空隔膜泵的优势：
■ 干泵无油
■膜片
■震动低，噪音轻
■高稳定性
■易于维护
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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。
热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。
MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。
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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏
有些器件需要在真空条件下工作，就要将这些器件密封在腔体中，这样腔体中压强要测量，外壳也需要捡漏，并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小，选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中，用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算：漏率Q=V×dp/dt，式中V是腔体体积，dp是在dt时间内压强的变化。
若初始压强为10Pa，存放两天后压强上升到20Pa，体积为2cm3，可算出漏率为1.2×10-10Pa.m3/S。如有漏，可用密封材料堵怀疑有漏的地方,若压强不再变化，说明漏洞就在这个地方。
市电供应困难的环境
测量几万伏高压处的压强，真空计的外壳要接高压火线，可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小，可用电池供电，这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外，由于石英真空计耗电小，不一定要交流220V供电，仅需要9V直流电池供电即可，这样它会在航天事业中获得应用。
▲石英真空计放置高压绝缘柱上
石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移，而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振，可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小，功耗小，精度较高，量程较宽等，因此它将有广泛的应用。
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真空计，又叫真空规。
半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。
是什麽？能干什么？如何使用？
1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。
2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。
3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。
真空计的种类及基本原理
真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。
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