真空箱式氦检漏设备
在电力行业高压环网柜生产中的应用
真空箱式氦检漏设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。
一、内腔表面光洁度（现设备腔体都是用的热板）固光洁度镜面处理达到“▽7”
做为设备验收标准。
二、腔体外部面板烤漆处理确保色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。
三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚，腔体法兰选用SS304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.确保腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。
四、设备外围护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm确保护栏厚实美观。（漆色执行用户技术要求外观颜色）
七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。真空箱式氦检漏设备【安装调试】1、交易完成后，供方负责给需方安装调试。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。
八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）
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氦气
氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、等，操作过程安全。在一些比较值钱的设备：例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气检漏。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。氦气稳定。当然也可用氢气检漏，但是氢气，容易引发事故，用氢气检测严禁吸烟，远离烟火。但用氦气检漏成本较贵，单瓶1000元左右。
氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。气体射束可能撞到操作员或周围的结构并发生“回弹”，从而导致操作员弄不清楚射束的真实来源位置。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。
逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。2充氦气回收单元充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
