真空泵维修为主要的注意点我们需要知道，在当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，这时将水管快接头用压缩空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，正常情况下浮子应该在上端，尤其在机台的报警温度在1200C，报警功率在3500W，停机功率在5000W，要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。
应用
冶金
镀膜
干燥
太阳能
真空腔抽空
主要特性和优势
资金 成本低，维护要求，由此其拥有成本也
减少 用户干预次数
降低 易耗品成本
无 需除油
不 会向大气中排放废油
抽取速度 非常稳定，为制程带来可重复性
大气压 下持续泵送
能够 处理微粒
干式 操作消除了反流，从而使反应合金免受污染。
不易察觉的 噪声级
无 难看的油溅
无 危险油蒸汽
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
功能和优势
可靠耐用的韧性铁构造
具有重复泵送能力。
能够控制泵温
优异的灰尘和蒸汽处理能力
具有一劳永逸的性能。
使用现有过滤器可以很好地处理灰尘。
降低了噪音和振动。
排放的烟雾中不含油。
无需进行油回收。排放区域环境清洁。
延长了正常运行时间。
节省维护成本。
可连续在大气压下泵送，对泵无有害影响。
高度可靠的干燥机械装置，已经过 60,000 多套产品实际验证。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
特性和优点
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
E2M40
E2M40FX
E2M40T4
E2M80
E2M80FX
E2M80T4
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
E2M175 与 E2M275