无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室控管项目:
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。
⒋ 压力之调节。
⒌ 有害气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。
⒎ 静电之防制。
⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。
⒑ 节能之考量。
⒒照度的的调节
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 单流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。