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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。
真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。
石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。
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机械密封件中的叶轮锁母也不可以上得太紧，在常见的泄漏中，轴和轴套之间的渗漏会比较多，这不单只是叶轮锁母没锁紧的原因，其它很多的因素都会引起渗漏，轴间的垫圈变形、偏移、失效、轴间端面混入了杂质、轴套和轴间有比较大的形位的误差，接触面损坏、轴上的各个元件相互之间有间隙、轴头的螺纹过长等等，都会导致了轴间的渗漏，很多情况与液压密封件泄漏原因相似。这样，橡胶的物理、力学性能，以及抗老化、耐温、耐介质作用的能力就会下降。
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安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和破坏。
由于镀层材料与基体材料二者线胀速率不同，所以温度升高时，环表面会出现裂纹，司太立特合金尤为严重。在较级的涂层材料中，钴基碳化钨不如镍基涂层。密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。而对密封面进行冷却，能有效地防止热裂，残留在密封面上的固体微粒经常损坏表面，如磨削时砂轮上的砂粒就会损伤硬环表面，导致密封面打开或在密封面之间生成结晶物，而在重新研磨石墨环后，研磨料就会嵌入石墨环表面。
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导致管道离心泵机械密封损坏的原因主要有以下几个方面：
A、卧式离心泵在输送物料遇冷凝固就会卡住弹簧，从而导致管道泵的机械密封的损坏;
B、机封工作面有固态颗粒存在;
C、静环和动环之间存在固态酚，导致油膜无法形成，磨损加剧；
D、单端面还是双端面么冲洗方法不正确；
E、抽空、气蚀或较长时间憋压，导致密封破坏；
F、对离心泵实际输出量偏小，大量介质泵内循环，热量积聚，引起介质气化，导致密封失效；
