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广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵维修保养
改进的转子结构
TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构:比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题,可以承受持续的大气体流量,并可将前级耐压提高至 16 mbar。
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国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
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近日,安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时,还拥有诸多全新的特点,此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的一款真空产品。
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安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑,可以任意角度安装,而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动;对于一个紧凑便携的系统而言,这些特点至关重要。
安捷伦扩散泵特点一抽气快(压力降的快)与扩散泵相比,前级泵(如罗茨泵)的抽速一般都会比较小,而且,在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降,所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高,这样,在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入,使真空设备的压力可以很多的下降。
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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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扩散泵工作时,从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池,并从油池边缘向中心流动,在流动的过程中,油的温度逐渐升高,油中沸点比较低的小分子组分,在靠近油池边缘的地方就会汽化,而沸点比较高的大分子组分,则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的,而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立,特别是喷塔,只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出,这一特点不仅扩散泵极限真空很好,而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发,使得泵的返油率很低。
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从上世纪60年代上市以来,安捷伦(即原瓦里安,下同)扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时,会用安捷伦的型号,也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦,要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。
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传统的真空泵会产生废油,易出故障,这对妥善管理设备提出了挑战。安捷伦 IDP 真空泵系列拥有更清洁、安静的无油泵产品,能够实现真正的无油操作,助您改善实验方法,使实验室环境更加舒适整洁,是 GC/MS 系统更绿色、可持续的选择。继 5977B 使用无油干式真空泵 IDP-3 的选配方案后,安捷伦又发布了用于 7000 系列的选配方案 IDP-10,并且我们还设计了用于旧设备的升级套装。