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广州潽拓光电科技有限公司——Agilent真空泵配件厂家
抗振动测试 通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试 将泵置于 –40 °C 至 +70 °C(处于非运行状态)以及 0 °C至 40 °C(处于运行状态)下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。
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殊润滑剂润滑轴承
使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。
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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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扩散泵工作时,从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池,并从油池边缘向中心流动,在流动的过程中,油的温度逐渐升高,油中沸点比较低的小分子组分,在靠近油池边缘的地方就会汽化,而沸点比较高的大分子组分,则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的,而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立,特别是喷塔,只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出,这一特点不仅扩散泵极限真空很好,而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发,使得泵的返油率很低。
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分子泵:安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术,工作时振动非常低,被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界,从2015年起,在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵,泵的可靠性非常接近,实测的振动水平低于0.01米/秒2,噪声等级更是只有40dB(A)。
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当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。