超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。（2）选择夹具的基本原则数控加工的特点对夹具提出了两点要求：一是要保证夹具的坐标方向要与机床的坐标方向相对固定不变。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
制定零件加工工艺的基本原则
(1)精基面先i行原则。零件加工必须选合适的表面作为在机床或夹具上的定位基面。作为头一道工艺定位基面的毛坯面，称为粗基面；经过加工的表面作为定位基面的，称为精基面。主要的精基面应先i行加工。
(2)粗精分开原则。对精度要求较高的表面，一般应在工件全部粗加工后再进行精加工。3、加工方面原因由于加工工艺控制不好会造成各种缺陷而引起失效。这样可消除工件在粗加工时因夹紧力、切削热和内应力引起的变形，也有利于热处理工序的安排；在大批量生产时，粗、精加工常在不同的机床上进行，这也有利于高的精度机床的合理使用。
(3)“一次装夹”原则。在单件、小批量生产中，有位置精度要求的有关表面应尽可能在一次装夹中进行精加工。
精密加工技术与系统论、方fa沦、计算机技术、信息技术、传感器技术、数字控制技术的结合，更促成r精密加工系统工程的形成.在研究精密加工和超精密加工一理论和表面形成机理、建屯数。从经济效益,零件精度来讲,第四种方案是其中li想的一种加工方法。精密机械加工和超精密零件加工是一门多学科的综合高1级技术.要达到高的精度和高表面质量，不仅要考虑加工方法本身，而且涉及被加工材料、加工设备及工芝装备、检测方法、工作环境和人的技艺水平等冈此.孤立的加工方法是不能达到预定的效果的.必须打综合技术和条件的支持.从而形成了精密加工系统工程。
轴类零件的特点是及加工注意事项：轴类零件是五金配件中经常遇到的典型零件之一，它主要是用来支承传动零部件，传递扭矩和承受载荷，按轴类零件结构形式不同，一般可分为光轴、阶梯轴和异形轴三类；或分为实心轴、空心轴等。轴类零件特点是旋转体零件，其长度大于直径，一般由同心轴的外圆柱面、圆锥面、内孔和螺纹及相应的端面所组成。根据结构形状的不同，轴类零件可分为光轴、阶梯轴、空心轴和曲轴等。(3)成形加工轴承零件的工作表面都是回转成形面，适合于用成形法加工。加工时需注意零件表面粗糙度、相互位置精度、几何形状精度、尺寸精度等。