流体系统
流体系统是与具体实际管网模型相对应的流动元件集合，各个流动元件都有实际的物理模型与之相对应。流体介质是流体系统中的流动物质，流体介质的状态和属性直接影响流体系统对流体介质的输运能力、热传导能力及其流体的作功能力。流体系统是由各种流动元件相互连接而成，流动元件包括流体存储元件、流体单向输运元件、流体多向输运元件。流体单向输运元件只有一个进口和一个出口，如各种管道、流体增压泵、气体压缩机等。流体多向输运元件主要用于分流和汇流，如三通接头、四通接头以及引射泵等。流体存储元件一般有流体体积或质量， 有一个或多个单向输运元件与之相连，其流量既可能流进，也可能流出。
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使用质量流量控制器注意事项
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
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气体质量流量控制器如何选择密封材料
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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