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2023-12-20 00:12  浏览:35
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空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。2μm过滤器为之,一般洗涤周期视清洁度等级而定,在高洁净区为2~3天,其他区域则为5天~1星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

发菌量工作人员产生的污染

1)皮肤:人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换,人类每分钟脱落约1000片皮肤(平均大小为30*60*3微米)

2)头发:人类的头发(直径约为50~100微米)一直在脱落。

3)口水:包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。

4)日常衣物:微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品。

5)人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。

6)人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。

7)人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。

在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。

无尘室内的浮游微粒子浓度,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。

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